Alicat艾里卡特MCE系列真空质量流量控制器特点：
l插入式兼容性。
外形包括焊接1/4英寸VCR配件，并与SEMI标准MFC的124毫米端到端长度相匹配。
l多功能且准确。
对98多种气体和20种自定义混合物进行实时控制，精度可达NIST可追溯的读数的±0.5或满量程的±0.1。
l轻松集成。
定制过程端口和电气连接器，以及您选择的EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中。
设备规格和定制选项：
快速规格：
MCE系列性能（大多数产品）
l可用满量程范围：0.5SCCM至20SLPM
l稳态控制范围：满量程的0.01–100
l标准精度校准，NIST可追溯：读数的±0.6或满量程的±0.1，以较大者为准
l可选高精度校准，NIST可追溯：读数的±0.5或满量程的±0.1，以较大者为准
l重复性：±（读数的0.1+满量程的0.02）
l典型控制响应时间：快至30ms
l预热时间：[1秒
MCE系列操作条件
l兼容气体：98种以上预加载的可选气体校准
l工作温度：–10°C至+60°C
l满量程工作压力：160PSIA
l最大压差：75PSID
l耐压：175PSIA
l用户可选择的参考条件（默认）：25°C&1ATM(STP)和0°C&1ATM(NTP)
真空质量流量控制器
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